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真空式等離子處理系統

真空式等離子處理系統

產品詳情

名稱(Name

真空式等離子處理系統

型號(Model

YR-VPO-8L

控制系統(Control system

PLC+觸摸屏

電源(Power supply

380V/AC,50/60Hz,3kw

射頻電源功率(RF Power

500W/13.56MHz

容量(Volume

80LOption

層數(Electrode of plies

8Option

有效處理面積(Area

400L*300W)(Option

氣體通道(Gas

兩路工作氣體可選: Ar、N2、H2、CF4、O2

 

超大處理空間,提升處理產能,采用PLC+觸摸屏控制系統,精確的控制設備運行。

可按照客戶要求定制設備腔體容量和層數,滿足客戶的需求。

保養維修成本低,便于客戶成本控制。

高精度,快響應,良好的操控性和兼容性,完善的功能和專業的技術支持。

途:適用于印制線路板行業,半導體IC領域,硅膠、塑膠、聚合體領域,汽車電子行業,航空工業等。印制線路板行業:高頻板表面活化,多層板表面清潔、去鉆污,軟板、軟硬結合板表面清潔、去鉆污,軟板補強前活化。半導體IC領域:COBCOGCOFACF工藝,用于打線、焊接前的清洗;硅膠、塑膠、聚合體領域:硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

 


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